Технологія прямого лазерного запису мікрорельєфних металевих структур на тонких плівках хрому / Чегіль Ю. І., Буток О. М., Беляк Є. В., Крючин А. А. (2026)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: https://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001714566
  Реєстрація, зберігання і обробка даних  Б - 2020  /     Випуск (2026, Т. 28, № 2)

Чегіль Ю. І., Буток О. М., Беляк Є. В., Крючин А. А.
Технологія прямого лазерного запису мікрорельєфних металевих структур на тонких плівках хрому

Бібліографічний опис:
Чегіль Ю. І., Буток О. М., Беляк Є. В., Крючин А. А. Технологія прямого лазерного запису мікрорельєфних металевих структур на тонких плівках хрому. Реєстрація, зберігання і обробка даних. 2026. Т. 28, № 2. С. 3-19. URL: https://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001714566

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна