Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний / Лукин К. А., Мачехин Ю. П., Данаилов М. Б., Татьянко Д. Н. (2011)
Ukrainian

English  Radiophysics and Electronics   /     Issue (2011, 2(16) (1))

translit Transliteration


Lukin K. A., Machekhin Ju. P., Danailov M. B., Tatjanko D. N.
Primenenie metoda spektralnoj interferometrii dlja izmerenija mikro- i nanorasstojanij


Cite:
Lukin, K. A., Machekhin, Ju. P., Danailov, M. B., Tatjanko, D. N. (2011). Primenenie metoda spektralnoj interferometrii dlja izmerenija mikro- i nanorasstojanij. Radiophysics and Electronics, 2(16) (1), 39-45 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000181515 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU


+38 (044) 525-36-24
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209