Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / Гришкевич А. Д. (2013)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000358558
  Technical mechanics   Б - 2020  /     Issue (2013, № 2)

Гришкевич А. Д.
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием

Бібліографічний опис:
Гришкевич А. Д.  Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием. Техническая механика. 2013. № 2. С. 109-115. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000358558

English  Technical mechanics    /     Issue (2013, 2)

translit Transliteration

Grishkevich A. D.
Tsilindricheskaja magnetronnaja raspylitelnaja sistema s ionnym assistirovaniem

Cite:
Grishkevich, A. D. (2013). Tsilindricheskaja magnetronnaja raspylitelnaja sistema s ionnym assistirovaniem. Technical mechanics , 2, 109-115 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000358558 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209