Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / Гришкевич А. Д. (2013)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000358558
  Техническая механика  Б - 2020  /     Випуск (2013, № 2)

Гришкевич А. Д.
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием

Бібліографічний опис:
Гришкевич А. Д.  Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием. Техническая механика. 2013. № 2. С. 109-115. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000358558

English  Technical mechanics    /     Issue (2013, 2)

translit Transliteration

Grishkevich A. D.
Tsilindricheskaja magnetronnaja raspylitelnaja sistema s ionnym assistirovaniem

Cite:
Grishkevich, A. D. (2013). Tsilindricheskaja magnetronnaja raspylitelnaja sistema s ionnym assistirovaniem. Technical mechanics , 2, 109-115 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000358558 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна