Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum / Indutnyi, I. Z., Mynko, V. I., Shepeliavyi, P. Ye., Sopinskyi, M. V., Tkach, V. M., Danko, V. A. (2011)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683
Optoelectronics and Semiconductor Technique Б - 2020 /  Issue (2011, Вып. 46)
Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Сопінський М. В., Ткач В. М., Данько В. А.
Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом
Бібліографічний опис:
Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Сопінський М. В., Ткач В. М., Данько В. А. Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 2011. Вып. 46. С. 49-56. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683 |  Optoelectronics and Semiconductor Technique / Issue (2011, 46)
Indutnyi I. Z., Mynko V. I., Shepeliavyi P. Ye., Sopinskyi M. V., Tkach V. M., Danko V. A.
Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
Cite:
Indutnyi, I. Z., Mynko, V. I., Shepeliavyi, P. Ye., Sopinskyi, M. V., Tkach, V. M., Danko, V. A. (2011). Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum. Optoelectronics and Semiconductor Technique, 46, 49-56. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF