Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом / Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Сопінський М. В., Ткач В. М., Данько В. А. (2011)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Б - 2020 /  Випуск (2011, Вып. 46)
Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Сопінський М. В., Ткач В. М., Данько В. А.
Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом
Бібліографічний опис:
Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Сопінський М. В., Ткач В. М., Данько В. А. Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 2011. Вып. 46. С. 49-56. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683 |  Optoelectronics and Semiconductor Technique / Issue (2011, 46)
Indutnyi I. Z., Mynko V. I., Shepeliavyi P. Ye., Sopinskyi M. V., Tkach V. M., Danko V. A.
Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
Cite:
Indutnyi, I. Z., Mynko, V. I., Shepeliavyi, P. Ye., Sopinskyi, M. V., Tkach, V. M., Danko, V. A. (2011). Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum. Optoelectronics and Semiconductor Technique, 46, 49-56. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF