The influence of HF discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor "Almaz" for the synthesis of diamond-like carbon films / Gladkovskij, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petrjakov, V. A. (2014)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405303
  Technology and design in electronic equipment   Б - 2020  /     Issue (2014, № 5-6)

Гладковский В. В., Костин Е. Г., Полозов Б. П., Федорович О. А., Петряков В. А.
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе "Алмаз" для синтеза углеродных алмазоподобных пленок

Бібліографічний опис:
Гладковский В. В., Костин Е. Г., Полозов Б. П., Федорович О. А., Петряков В. А. Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе "Алмаз" для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2014. № 5-6. С. 39-45. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405303

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2014, 5-6)

Gladkovskij V. V., Kostin E. G., Polozov B. P., Fedorovich O. A., Petrjakov V. A.
The influence of HF discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor "Almaz" for the synthesis of diamond-like carbon films

Cite:
Gladkovskij, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petrjakov, V. A. (2014). The influence of HF discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor "Almaz" for the synthesis of diamond-like carbon films. Technology and design in electronic equipment, 5-6, 39-45. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405303 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209