Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters / Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotjuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomskij, D. V. (2006)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229
  Technology and design in electronic equipment   Б - 2020  /     Issue (2006, № 2)

Полозов Б. П., Федорович О. А., Голотюк В. Н., Мариненко А. А., Лукомский Д. В.
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей

Бібліографічний опис:
Полозов Б. П., Федорович О. А., Голотюк В. Н., Мариненко А. А., Лукомский Д. В. Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей. Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2006. № 2. С. 52-55. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2006, 2)

Polozov B. P., Fedorovich O. A., Golotjuk V. N., Marinenko A. A., Lukomskij D. V.
Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters

Cite:
Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotjuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomskij, D. V. (2006). Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters. Technology and design in electronic equipment, 2, 52-55. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209