Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей / Полозов Б. П., Федорович О. А., Голотюк В. Н., Мариненко А. А., Лукомский Д. В. (2006)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229
  Технология и конструирование в электронной аппаратуре   Б - 2020  /     Випуск (2006, № 2)

Полозов Б. П., Федорович О. А., Голотюк В. Н., Мариненко А. А., Лукомский Д. В.
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей

Бібліографічний опис:
Полозов Б. П., Федорович О. А., Голотюк В. Н., Мариненко А. А., Лукомский Д. В. Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей. Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2006. № 2. С. 52-55. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2006, 2)

Polozov B. P., Fedorovich O. A., Golotjuk V. N., Marinenko A. A., Lukomskij D. V.
Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters

Cite:
Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotjuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomskij, D. V. (2006). Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters. Technology and design in electronic equipment, 2, 52-55. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна