Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей / Полозов Б. П., Федорович О. А., Голотюк В. Н., Мариненко А. А., Лукомский Д. В. (2006)
Ukrainian

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2006, 2)

Polozov B. P., Fedorovich O. A., Golotjuk V. N., Marinenko A. A., Lukomskij D. V.
Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters


Cite:
Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotjuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomskij, D. V. (2006). Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters. Technology and design in electronic equipment, 2, 52-55. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна