Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy / Tsysar, M. A. (2013)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825
  Superhard Materials      А - 2019  /     Issue (2013, № 1)

Цысарь М. А.
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии

Бібліографічний опис:
Цысарь М. А.  Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии. Сверхтвердые материалы. 2013. № 1. С. 56-65. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825

English  Superhard Materials   /     Issue (2013, 1)

Tsysar M. A.
Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy

Cite:
Tsysar, M. A. (2013). Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy. Superhard Materials, 1, 56-65. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209