Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / Цысарь М. А. (2013)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825
  Сверхтвердые материалы      А - 2019  /     Випуск (2013, № 1)

Цысарь М. А.
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии

Бібліографічний опис:
Цысарь М. А.  Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии. Сверхтвердые материалы. 2013. № 1. С. 56-65. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825

English  Superhard Materials   /     Issue (2013, 1)

Tsysar M. A.
Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy

Cite:
Tsysar, M. A. (2013). Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy. Superhard Materials, 1, 56-65. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна