Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Соколюк Д. В., Куцай О. М., Старик С. П., Ткач В. М., Стаценко О. О., Білорусець В. В. (2014)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718405
Tooling materials science Б - 2020 /  Issue (2014, Вып. 17)
Соколюк Д. В., Куцай О. М., Старик С. П., Ткач В. М., Стаценко О. О., Білорусець В. В.
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення
Бібліографічний опис:
Соколюк Д. В., Куцай О. М., Старик С. П., Ткач В. М., Стаценко О. О., Білорусець В. В. Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення. Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. 2014. Вып. 17. С. 336-339. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718405 |  Tooling materials science / Issue (2014, 17)
 Transliteration
Sokoliuk D. V., Kutsai O. M., Staryk S. P., Tkach V. M., Statsenko O. O., Bilorusets V. V.
Elementnyi sklad ta strukturni kharakterystyky plivkovykh struktur na osnovi karbidu kremniiu, otrymanykh metodom mahnetronnoho rozpylennia
Cite:
Sokoliuk, D. V., Kutsai, O. M., Staryk, S. P., Tkach, V. M., Statsenko, O. O., Bilorusets, V. V. (2014). Elementnyi sklad ta strukturni kharakterystyky plivkovykh struktur na osnovi karbidu kremniiu, otrymanykh metodom mahnetronnoho rozpylennia. Tooling materials science, 17, 336-339 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718405 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF