Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Соколюк Д. В., Куцай О. М., Старик С. П., Ткач В. М., Стаценко О. О., Білорусець В. В. (2014)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718405
Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения Б - 2020 /  Випуск (2014, Вып. 17)
Соколюк Д. В., Куцай О. М., Старик С. П., Ткач В. М., Стаценко О. О., Білорусець В. В.
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення
Бібліографічний опис:
Соколюк Д. В., Куцай О. М., Старик С. П., Ткач В. М., Стаценко О. О., Білорусець В. В. Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення. Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. 2014. Вып. 17. С. 336-339. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718405 |  Tooling materials science / Issue (2014, 17)
 Transliteration
Sokoliuk D. V., Kutsai O. M., Staryk S. P., Tkach V. M., Statsenko O. O., Bilorusets V. V.
Elementnyi sklad ta strukturni kharakterystyky plivkovykh struktur na osnovi karbidu kremniiu, otrymanykh metodom mahnetronnoho rozpylennia
Cite:
Sokoliuk, D. V., Kutsai, O. M., Staryk, S. P., Tkach, V. M., Statsenko, O. O., Bilorusets, V. V. (2014). Elementnyi sklad ta strukturni kharakterystyky plivkovykh struktur na osnovi karbidu kremniiu, otrymanykh metodom mahnetronnoho rozpylennia. Tooling materials science, 17, 336-339 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718405 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF