Dopant depth profile modification during mass Spectrometric analysis of multilayer nanostructures / Yefremov, O. O., Lytovchenko, V. H., Melnyk, V. P., Oberemok, O. S., Popov, V. H., Romaniuk, B. M. (2015)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732056
Ukrainian Journal of Physics   А - 2018 /  Issue (2015, Т. 60, № 6)
Єфремов О. О., Литовченко В. Г., Мельник В. П., Оберемок О. С., Попов В. Г., Романюк Б. М.
Механізми модифікації профілів розподілу домішок при мас-спектрометричному аналізі багатошарових наноструктур
Бібліографічний опис:
Єфремов О. О., Литовченко В. Г., Мельник В. П., Оберемок О. С., Попов В. Г., Романюк Б. М. Механізми модифікації профілів розподілу домішок при мас-спектрометричному аналізі багатошарових наноструктур. Український фізичний журнал. 2015. Т. 60, № 6. С. 512-521. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732056 |  Ukrainian Journal of Physics / Issue (2015, 60 (6))
Yefremov O. O., Lytovchenko V. H., Melnyk V. P., Oberemok O. S., Popov V. H., Romaniuk B. M.
Dopant depth profile modification during mass Spectrometric analysis of multilayer nanostructures
Cite:
Yefremov, O. O., Lytovchenko, V. H., Melnyk, V. P., Oberemok, O. S., Popov, V. H., Romaniuk, B. M. (2015). Dopant depth profile modification during mass Spectrometric analysis of multilayer nanostructures. Ukrainian Journal of Physics, 60 (6), 512-521. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732056 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF