Analisys of synthesis condition of hard tantalum diboride coatings in magnetron sputtering systems / Goncharov, A. A., Junda, A. N., Zykov, A. V., Farenik, V. I., Shelest, I. V., Buranich, V. V. (2017)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832347
Zhurnal fizyky ta inzhenerii poverkhni /  Issue (2017, Т. 2, № 2-3)
Гончаров А. А., Юнда А. Н., Зыков А. В., Фареник В. И., Шелест И. В., Буранич В. В.
Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах
Бібліографічний опис:
Гончаров А. А., Юнда А. Н., Зыков А. В., Фареник В. И., Шелест И. В., Буранич В. В. Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах. Журнал фізики та інженерії поверхні. 2017. Т. 2, № 2-3. С. 105-114. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832347 |  Zhurnal fizyky ta inzhenerii poverkhni / Issue (2017, 2 (2-3))
Goncharov A. A., Junda A. N., Zykov A. V., Farenik V. I., Shelest I. V., Buranich V. V.
Analisys of synthesis condition of hard tantalum diboride coatings in magnetron sputtering systems
Cite:
Goncharov, A. A., Junda, A. N., Zykov, A. V., Farenik, V. I., Shelest, I. V., Buranich, V. V. (2017). Analisys of synthesis condition of hard tantalum diboride coatings in magnetron sputtering systems. Zhurnal fizyky ta inzhenerii poverkhni, 2 (2-3), 105-114. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832347 [In Russian]. | |
|
|
PDF