Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / Гончаров А. А., Юнда А. Н., Зыков А. В., Фареник В. И., Шелест И. В., Буранич В. В. (2017)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832347
Журнал фізики та інженерії поверхні /  Випуск (2017, Т. 2, № 2-3)
Гончаров А. А., Юнда А. Н., Зыков А. В., Фареник В. И., Шелест И. В., Буранич В. В.
Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах
Бібліографічний опис:
Гончаров А. А., Юнда А. Н., Зыков А. В., Фареник В. И., Шелест И. В., Буранич В. В. Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах. Журнал фізики та інженерії поверхні. 2017. Т. 2, № 2-3. С. 105-114. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832347 |  Journal of Surface Physics and Engineering / Issue (2017, 2 (2-3))
Goncharov A. A., Junda A. N., Zykov A. V., Farenik V. I., Shelest I. V., Buranich V. V.
Analisys of synthesis condition of hard tantalum diboride coatings in magnetron sputtering systems
Cite:
Goncharov, A. A., Junda, A. N., Zykov, A. V., Farenik, V. I., Shelest, I. V., Buranich, V. V. (2017). Analisys of synthesis condition of hard tantalum diboride coatings in magnetron sputtering systems. Journal of Surface Physics and Engineering, 2 (2-3), 105-114. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832347 [In Russian]. | |
|
|
PDF