In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing / Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Filatov, A. Ju., Montej, G. (2017)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850183
  Superhard Materials      А - 2019  /     Issue (2017, № 4)

Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Филатов А. Ю., Монтей Г.
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Филатов А. Ю., Монтей Г. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники. Сверхтвердые материалы. 2017. № 4. С. 80-87. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850183

English  Superhard Materials   /     Issue (2017, 4)

Filatov Ju. D., Sidorko V. I., Kovalev S. V., Filatov A. Ju., Montej G.
In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing

Cite:
Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Filatov, A. Ju., Montej, G. (2017). In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing. Superhard Materials, 4, 80-87. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850183 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209