Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Филатов А. Ю., Монтей Г. (2017)
|  Superhard Materials /  Issue (2017, 4)
Filatov Ju. D., Sidorko V. I., Kovalev S. V., Filatov A. Ju., Montej G.
In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing
Cite:
Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Filatov, A. Ju., Montej, G. (2017). In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing. Superhard Materials, 4, 80-87. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850183 [In Russian]. | |
|
|
PDF