Ion-plasma system for reactive magnetron deposition / Yakovin, S. D., Zykov, O. V., Dudin, S. V., Farenik, V. I., Yunakov, M. M. (2014)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001030980
Physical surface engineering /  Issue (2014, Т. 12, № 3)
Яковін С. Д., Зиков О. В., Дудін С. В., Фаренік В. І., Юнаков М. М.
Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
Бібліографічний опис:
Яковін С. Д., Зиков О. В., Дудін С. В., Фаренік В. І., Юнаков М. М. Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів. Фізична інженерія поверхні. 2014. Т. 12, № 3. С. 428-439. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001030980 |  Physical surface engineering / Issue (2014, 12 (3))
Yakovin S. D., Zykov O. V., Dudin S. V., Farenik V. I., Yunakov M. M.
Ion-plasma system for reactive magnetron deposition
Cite:
Yakovin, S. D., Zykov, O. V., Dudin, S. V., Farenik, V. I., Yunakov, M. M. (2014). Ion-plasma system for reactive magnetron deposition. Physical surface engineering, 12 (3), 428-439. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001030980 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF