Дослідження плівок SiC, отриманих на підкладинці porous-Si/Si / Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Жук А. Г., Гудименко О. Й., Сімченко С. В. (2024)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001504130
Chemistry, physics and technology of surface  А - 2022 /  Issue (2024, Т. 15, № 2)
Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Жук А. Г., Гудименко О. Й., Сімченко С. В.
Дослідження плівок SiC, отриманих на підкладинці porous-Si/Si
Бібліографічний опис:
Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Жук А. Г., Гудименко О. Й., Сімченко С. В. Дослідження плівок SiC, отриманих на підкладинці porous-Si/Si. Хімія, фізика та технологія поверхні. 2024. Т. 15, № 2. С. 221-229. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001504130 | |
|
|
PDF