Квазиоптическое масштабное моделирование влияния локализованных дефектов поверхности металлов на данные оптической эллипсометрии / Беляева А. И., Галуза A. A., Киселев В. К., Коленов И. В., Савченко А. А., Кулешов Е. М., Серебрянский С. Ю. (2014)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000192319
Радиофизика и электроника  Б - 2020 /  Випуск (2014, Т. 5(19), № 1)
Беляева А. И., Галуза A. A., Киселев В. К., Коленов И. В., Савченко А. А., Кулешов Е. М., Серебрянский С. Ю.
Квазиоптическое масштабное моделирование влияния локализованных дефектов поверхности металлов на данные оптической эллипсометрии
Бібліографічний опис:
Беляева А. И., Галуза A. A., Киселев В. К., Коленов И. В., Савченко А. А., Кулешов Е. М., Серебрянский С. Ю. Квазиоптическое масштабное моделирование влияния локализованных дефектов поверхности металлов на данные оптической эллипсометрии. Радиофизика и электроника. 2014. Т. 5(19), № 1. С. 66-73. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000192319 |  Radiophysics and Electronics / Issue (2014, 5(19) (1))
 Transliteration
Beljaeva A. I., Galuza A. A., Kiselev V. K., Kolenov I. V., Savchenko A. A., Kuleshov E. M., Serebrjanskij S. Ju.
Kvaziopticheskoe masshtabnoe modelirovanie vlijanija lokalizovannykh defektov poverkhnosti metallov na dannye opticheskoj ellipsometrii
Cite:
Beljaeva, A. I., Galuza, A. A., Kiselev, V. K., Kolenov, I. V., Savchenko, A. A., Kuleshov, E. M., Serebrjanskij, S. Ju. (2014). Kvaziopticheskoe masshtabnoe modelirovanie vlijanija lokalizovannykh defektov poverkhnosti metallov na dannye opticheskoj ellipsometrii. Radiophysics and Electronics, 5(19) (1), 66-73 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000192319 [In Russian]. | |
|
|
PDF