Electrical properties of semiconductor structures with Si nanoclusters in SiO2 grown by high temperature annealing technology of SiOX layer, X<2 / Bunak S. V., Buyanin A. A., Ilchenko V. V., Marin V. V., Melnik V. P., Khacevich I. M., Tretyak O. V., Shkavro A. G. (2010)
UkrainianEnglish

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна