Complex destruction of near-surface silicon layers of Si-SiO2 structure / Yatsunskiy I. R., Kulinich O. A. (2010)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349387
  Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics       А - 2019  /     Випуск (2010, Vol. 13, № 4)

Yatsunskiy I. R., Kulinich O. A.
Complex destruction of near-surface silicon layers of Si-SiO2 structure

Cite:
Yatsunskiy, I. R., Kulinich, O. A. (2010). Complex destruction of near-surface silicon layers of Si-SiO2 structure. Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics , 13 (4), 418-421. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349387

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна