інтернет-адреса сторінки:
http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000350384
Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics А - 2019 /
Випуск (2012, Vol. 15, № 4)
Lytvyn P. M., Lytvyn O. S., Dyachyns'ka O. M., Grytsenko K. P., Schrader S., Prokopenko I. V.
Mechanical scanning probe nanolithography: modeling and application
Cite:
Lytvyn, P. M., Lytvyn, O. S., Dyachynska, O. M., Grytsenko, K. P., Schrader, S., Prokopenko, I. V. (2012). Mechanical scanning probe nanolithography: modeling and application. Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics , 15 (4), 321-327. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000350384