Influence of the surface roughness and oxide surface layer onto Si optical constants measured by the ellipsometry technique / Rozouvan T. S., Poperenko L. V., Shaykevich I. A. (2015)
UkrainianEnglish

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна