Вплив термовідпалів при 450 і 650 °С на тензоопір і параметр анізотропії рухливості монокристалів кремнію / Баранський П. І., Гайдар Г. П. (2014)
Ukrainian

English  Optoelectronics and Semiconductor Technique   /     Issue (2014, 49)

Baranskyi P. I., Haidar H. P.
Influence of thermoannealings at 450 and 650 oC on the tensoresistance and anisotropy parameter in mobility of silicon single crystals


Cite:
Baranskyi, P. I., Haidar, H. P. (2014). Influence of thermoannealings at 450 and 650 oC on the tensoresistance and anisotropy parameter in mobility of silicon single crystals. Optoelectronics and Semiconductor Technique, 49, 42-47. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363505 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна