Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов / Батурин В. А., Карпенко А. Ю., Кирик Г. В., Мирошниченко В. И., Нагорный А. Г., Еремин С. А., Пустовойтов С. А., Нагорный В. А. (2012)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000435333
Наука та інновації   А - 2018 /  Випуск (2012, Т. 8, № 3)
Батурин В. А., Карпенко А. Ю., Кирик Г. В., Мирошниченко В. И., Нагорный А. Г., Еремин С. А., Пустовойтов С. А., Нагорный В. А.
Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
Бібліографічний опис:
Батурин В. А., Карпенко А. Ю., Кирик Г. В., Мирошниченко В. И., Нагорный А. Г., Еремин С. А., Пустовойтов С. А., Нагорный В. А. Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов. Наука та інновації. 2012. Т. 8, № 3. С. 5-11. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000435333 |  Science and innovation / Issue (2012, 8 (3))
 Transliteration
Baturin V. A., Karpenko A. Ju., Kirik G. V., Miroshnichenko V. I., Nagornyj A. G., Eremin S. A., Pustovojtov S. A., Nagornyj V. A.
Ustanovka dlja nanesenija pokrytij metodom atomno-ionnogo raspylenija materialov
Cite:
Baturin, V. A., Karpenko, A. Ju., Kirik, G. V., Miroshnichenko, V. I., Nagornyj, A. G., Eremin, S. A., Pustovojtov, S. A., Nagornyj, V. A. (2012). Ustanovka dlja nanesenija pokrytij metodom atomno-ionnogo raspylenija materialov. Science and innovation, 8 (3), 5-11 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000435333 [In Russian]. | |
|
|
PDF