Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / Васькевич В. В., Гайшун В. Е., Коваленко Д. Л. (2014)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476016
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології   А - 2020 /  Випуск (2014, Т. 12, Вип. 2)
Васькевич В. В., Гайшун В. Е., Коваленко Д. Л.
Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники
Бібліографічний опис:
Васькевич В. В., Гайшун В. Е., Коваленко Д. Л. Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники. Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. 2014. Т. 12, Вип. 2. С. 279-293. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476016 |  Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies / Issue (2014, 12 (2))
Vaskevich V. V., Gajshun V. E., Kovalenko D. L.
Synthesis and study of silicate sol–gel coatings for micro- and nanoelectronics
Cite:
Vaskevich, V. V., Gajshun, V. E., Kovalenko, D. L. (2014). Synthesis and study of silicate sol–gel coatings for micro- and nanoelectronics. Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies, 12 (2), 279-293. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476016 [In Russian]. | |
|
|
PDF