Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material / Kovtun Yu. V., Skibenko E. I., Skibenko A. I., Yuferov V. B. (2012)
UkrainianEnglish

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна