Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Ковалев С. В. (2013)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695893
  Сверхтвердые материалы      А - 2019  /     Випуск (2013, № 5)

Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Ковалев С. В.
Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния

Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Ковалев С. В. Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния. Сверхтвердые материалы. 2013. № 5. С. 63-71. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695893

English  Superhard Materials   /     Issue (2013, 5)

Filatov Ju. D., Vetrov A. G., Sidorko V. I., Filatov A. Ju., Kovalev S. V.
A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide

Cite:
Filatov, Ju. D., Vetrov, A. G., Sidorko, V. I., Filatov, A. Ju., Kovalev, S. V. (2013). A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide. Superhard Materials, 5, 63-71. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695893 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна