Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures / Hladkovskiy V. V., Fedorovich O. A. (2017)
UkrainianEnglish

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна