Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / Сторижко В. Е., Мирошниченко В. И., Пономарев А. Г. (2012)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000740630
  Наука та інновації      А - 2018  /     Випуск (2012, Т. 8, № 2)

Сторижко В. Е., Мирошниченко В. И., Пономарев А. Г.
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Бібліографічний опис:
Сторижко В. Е., Мирошниченко В. И., Пономарев А. Г. Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития. Наука та інновації. 2012. Т. 8, № 2. С. 17-22. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000740630

English  Science and innovation   /     Issue (2012, 8 (2))

Storizhko V. E., Miroshnichenko V. I., Ponomarev A. G.
Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development

Cite:
Storizhko, V. E., Miroshnichenko, V. I., Ponomarev, A. G. (2012). Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development. Science and innovation, 8 (2), 17-22. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000740630 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна