Розподіл концентрації домішок та їхніх комплексів із вакансіями за межами пробігу іонів при імплантації / Сугаков В. Й., Чернюк А. А. (2017)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612
  Ядерна фізика та енергетика       А - 2018  /     Випуск (2017, Т. 18, № 1)

Сугаков В. Й., Чернюк А. А.
Розподіл концентрації домішок та їхніх комплексів із вакансіями за межами пробігу іонів при імплантації

Бібліографічний опис:
Сугаков В. Й., Чернюк А. А. Розподіл концентрації домішок та їхніх комплексів із вакансіями за межами пробігу іонів при імплантації. Ядерна фізика та енергетика. 2017. Т. 18, № 1. С. 43-47. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612

English  Nuclear physics and atomic energy   /     Issue (2017, 18 (1))

Suhakov V. Y., Cherniuk A. A.
Distribution of concentration of impurities and "impurity–vacancy" complexes beyond the range of ions during implantation

Cite:
Suhakov, V. Y., Cherniuk, A. A. (2017). Distribution of concentration of impurities and "impurity–vacancy" complexes beyond the range of ions during implantation. Nuclear physics and atomic energy, 18 (1), 43-47. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна