Modeling of X-ray rocking curves for layers after two-stage ion-implantation / Liubchenko O. I., Kladko V. P., Gudymenko O. Yo. (2017)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000778515
  Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics       А - 2019  /     Випуск (2017, Vol. 20, № 3)

Liubchenko O. I., Kladko V. P., Gudymenko O. Yo.
Modeling of X-ray rocking curves for layers after two-stage ion-implantation

Cite:
Liubchenko, O. I., Kladko, V. P., Gudymenko, O. Yo. (2017). Modeling of X-ray rocking curves for layers after two-stage ion-implantation. Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics , 20 (3), 355-361. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000778515

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна