Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / Калиниченко А. И., Перепёлкин С. С., Стрельницкий В. Е. (2016)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000838875
  Журнал фізики та інженерії поверхні   /     Випуск (2016, Т. 1, № 4)

Калиниченко А. И., Перепёлкин С. С., Стрельницкий В. Е.
Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии

Бібліографічний опис:
Калиниченко А. И., Перепёлкин С. С., Стрельницкий В. Е. Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии. Журнал фізики та інженерії поверхні. 2016. Т. 1, № 4. С. 338-345. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000838875

English  Journal of Surface Physics and Engineering   /     Issue (2016, 1 (4))

Kalinichenko A. I., Perepjolkin S. S., Strelnitskij V. E.
Influence of incident angle of ion beam on intrinsic stress in deposited coating

Cite:
Kalinichenko, A. I., Perepjolkin, S. S., Strelnitskij, V. E. (2016). Influence of incident angle of ion beam on intrinsic stress in deposited coating. Journal of Surface Physics and Engineering, 1 (4), 338-345. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000838875 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна