Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge / Lisovskiy V. A., Booth J.-P. (2003)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849879
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2003, Т. 1, № 1)

Lisovskiy V. A., Booth J.-P.
Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge

Cite:
Lisovskiy, V. A., Booth, J.-P. (2003). Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge. Physical surface engineering, 1 (1), 34-36. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849879

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна