Использование ВЧ розряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / Гриценко В. И., Береснев В. М., Швец О. М. (2003)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849880
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2003, Т. 1, № 1)

Гриценко В. И., Береснев В. М., Швец О. М.
Использование ВЧ розряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий

Бібліографічний опис:
Гриценко В. И., Береснев В. М., Швец О. М. Использование ВЧ розряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий. Фізична інженерія поверхні. 2003. Т. 1, № 1. С. 37-39. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849880

English  Physical surface engineering   /     Issue (2003, 1 (1))

Gritsenko V. I., Beresnev V. M., Shvets O. M.
The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films

Cite:
Gritsenko, V. I., Beresnev, V. M., Shvets, O. M. (2003). The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films. Physical surface engineering, 1 (1), 37-39. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849880 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна