Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / Шулаев В. М., Андреев А. А., Руденко В. П. (2006)
Ukrainian

English  Physical surface engineering   /     Issue (2006, 4 (3-4))

Shulaev V. M., Andreev A. A., Rudenko V. P.
Improvement of vacuum-arc equipment for nitration and coating synthesis by means of ion implantation and deposition


Cite:
Shulaev, V. M., Andreev, A. A., Rudenko, V. P. (2006). Improvement of vacuum-arc equipment for nitration and coating synthesis by means of ion implantation and deposition. Physical surface engineering, 4 (3-4), 136-142. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855344 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна