Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD / Ковальчук И. К., Левенец В. В., Омельник А. П., Щур А. А., Широков Б. М. (2007)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867748
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2007, Т. 5, № 3-4)
Ковальчук И. К., Левенец В. В., Омельник А. П., Щур А. А., Широков Б. М.
Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
Бібліографічний опис:
Ковальчук И. К., Левенец В. В., Омельник А. П., Щур А. А., Широков Б. М. Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD. Фізична інженерія поверхні. 2007. Т. 5, № 3-4. С. 197-202. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867748 |  Physical surface engineering / Issue (2007, 5 (3-4))
Kovalchuk I. K., Levenets V. V., Omelnik A. P., Shchur A. A., Shirokov B. M.
Studying on a beam of protons film of alloy Si-Ge, received by method CVD
Cite:
Kovalchuk, I. K., Levenets, V. V., Omelnik, A. P., Shchur, A. A., Shirokov, B. M. (2007). Studying on a beam of protons film of alloy Si-Ge, received by method CVD. Physical surface engineering, 5 (3-4), 197-202. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867748 [In Russian]. | |
|
|
PDF