Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки / Литвиненко В. В., Родионов В. Е., Родионова Н. А., Шмидко И. Н. (2011)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000892715
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2011, Т. 9, № 4)

Литвиненко В. В., Родионов В. Е., Родионова Н. А., Шмидко И. Н.
Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки

Бібліографічний опис:
Литвиненко В. В., Родионов В. Е., Родионова Н. А., Шмидко И. Н. Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки. Фізична інженерія поверхні. 2011. Т. 9, № 4. С. 346-349. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000892715

English  Physical surface engineering   /     Issue (2011, 9 (4))

Litvinenko V. V., Rodionov V. E., Rodionova N. A., Shmidko I. N.
Optical properties of submicron silicon oxide films after high-temperature processing

Cite:
Litvinenko, V. V., Rodionov, V. E., Rodionova, N. A., Shmidko, I. N. (2011). Optical properties of submicron silicon oxide films after high-temperature processing. Physical surface engineering, 9 (4), 346-349. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000892715 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна