Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Филатов Ю. Д. (2018)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299
  Сверхтвердые материалы      А - 2019  /     Випуск (2018, № 4)

Филатов Ю. Д.
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов

Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д.  Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов. Сверхтвердые материалы. 2018. № 4. С. 71-81. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299

English  Superhard Materials   /     Issue (2018, 4)

Filatov Ju. D.
Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components

Cite:
Filatov, Ju. D. (2018). Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components. Superhard Materials, 4, 71-81. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна