Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур / Пономарев А. Г., Ребров В. А., Колинько С. В. (2019)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001021001
  Наука та інновації      А - 2018  /     Випуск (2019, Т. 15, № 4)

Пономарев А. Г., Ребров В. А., Колинько С. В.
Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур

Бібліографічний опис:
Пономарев А. Г., Ребров В. А., Колинько С. В. Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур. Наука та інновації. 2019. Т. 15, № 4. С. 62-69. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001021001

English  Science and innovation   /     Issue (2019, 15 (4))

Ponomarev A. G., Rebrov V. A., Kolinko S. V.
Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication

Cite:
Ponomarev, A. G., Rebrov, V. A., Kolinko, S. V. (2019). Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication. Science and innovation, 15 (4), 62-69. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001021001 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна