Сравнительный анализ различных источников плазмы для целей реактивного нанесения покрытий и диффузионного насыщения металлов / Сагалович А. В., Сагалович В. В., Дудин С. В., Фареник В. И. (2014)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001031073
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2014, Т. 12, № 2)

Сагалович А. В., Сагалович В. В., Дудин С. В., Фареник В. И.
Сравнительный анализ различных источников плазмы для целей реактивного нанесения покрытий и диффузионного насыщения металлов

Бібліографічний опис:
Сагалович А. В., Сагалович В. В., Дудин С. В., Фареник В. И. Сравнительный анализ различных источников плазмы для целей реактивного нанесения покрытий и диффузионного насыщения металлов. Фізична інженерія поверхні. 2014. Т. 12, № 2. С. 285-298. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001031073

English  Physical surface engineering   /     Issue (2014, 12 (2))

Sagalovich A. V., Sagalovich V. V., Dudin S. V., Farenik V. I.
Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

Cite:
Sagalovich, A. V., Sagalovich, V. V., Dudin, S. V., Farenik, V. I. (2014). Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals. Physical surface engineering, 12 (2), 285-298. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001031073 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна