Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60 / Малеев М. В., Зубарев Е. Н., Пуха В. Е., Дроздов А. Н., Вус А. С., Девизенко А. Ю. (2015)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2015, Т. 13, № 1)
Малеев М. В., Зубарев Е. Н., Пуха В. Е., Дроздов А. Н., Вус А. С., Девизенко А. Ю.
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60
Бібліографічний опис:
Малеев М. В., Зубарев Е. Н., Пуха В. Е., Дроздов А. Н., Вус А. С., Девизенко А. Ю. Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 1. С. 91-104. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140 |  Physical surface engineering / Issue (2015, 13 (1))
Maleev M. V., Zubarev E. N., Pukha V. E., Drozdov A. N., Vus A. S., Devizenko A. Ju.
The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60
Cite:
Maleev, M. V., Zubarev, E. N., Pukha, V. E., Drozdov, A. N., Vus, A. S., Devizenko, A. Ju. (2015). The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60. Physical surface engineering, 13 (1), 91-104. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140 [In Russian]. | |
|
|
PDF