Влияние взаимодействия соотношений газов CH4/H2/Ar и расстояния горячая нить накала–подложка на рост нанокристаллического алмаза / Дэнг Б., Вэй Ц., Йи М., Луо И., Ли Л., Чжоу К., Ма Л. (2020)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001130384 Надтверді матеріали А - 2019 / Випуск (2020, № 3)
Дэнг Б., Вэй Ц., Йи М., Луо И., Ли Л., Чжоу К., Ма Л. Влияние взаимодействия соотношений газов CH4/H2/Ar и расстояния горячая нить накала–подложка на рост нанокристаллического алмаза
Бібліографічний опис: Дэнг Б., Вэй Ц., Йи М., Луо И., Ли Л., Чжоу К., Ма Л. Влияние взаимодействия соотношений газов CH4/H2/Ar и расстояния горячая нить накала–подложка на рост нанокристаллического алмаза. Надтверді матеріали. 2020. № 3. С. 39-50. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001130384 | Superhard Materials / Issue (2020, 3)
Deng B., Vej Ts., Ji M., Luo I., Li L., Chzhou K., Ma L. Coupling effects of CH4/H2/Ar gas ratios and hot filament-substrate distance on the growth of nanocrystalline diamond
Cite: Deng, B., Vej, Ts., Ji, M., Luo, I., Li, L., Chzhou, K., Ma, L. (2020). Coupling effects of CH4/H2/Ar gas ratios and hot filament-substrate distance on the growth of nanocrystalline diamond. Superhard Materials, 3, 39-50. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001130384 [In Russian]. |
|
|