Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN / Горох Д. В., Максакова О. В., Клименко C. А., Литовченко С. В., Береснєв В. М., Глухов О. В. (2022)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365
Надтверді матеріали   А - 2019 /  Випуск (2022, № 6)
Горох Д. В., Максакова О. В., Клименко C. А., Литовченко С. В., Береснєв В. М., Глухов О. В.
Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN
Повний текст публікації буде доступним після 01.01.2025 р. - через 87 днів
Бібліографічний опис:
Горох Д. В., Максакова О. В., Клименко C. А., Литовченко С. В., Береснєв В. М., Глухов О. В. Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN. Надтверді матеріали. 2022. № 6. С. 44-52. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365 |  Superhard Materials / Issue (2022, 6)
Horokh D. V., Maksakova O. V., Klymenko C. A., Lytovchenko S. V., Beresniev V. M., Hlukhov O. V.
The influence of the bias potential and working gas pressure on the properties of the ion-plasma multilayer coating TiSiN/NbN
Download publication will be available after 01/01/2025 р., in 87 days
Cite:
Horokh, D. V., Maksakova, O. V., Klymenko, C. A., Lytovchenko, S. V., Beresniev, V. M., Hlukhov, O. V. (2022). The influence of the bias potential and working gas pressure on the properties of the ion-plasma multilayer coating TiSiN/NbN. Superhard Materials, 6, 44-52. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365 [In Ukrainian]. | |
|
|
