Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN / Горох Д. В., Максакова О. В., Клименко C. А., Литовченко С. В., Береснєв В. М., Глухов О. В. (2022)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365
Надтверді матеріали   А - 2019 /  Випуск (2022, № 6)
Горох Д. В., Максакова О. В., Клименко C. А., Литовченко С. В., Береснєв В. М., Глухов О. В.
Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN
Бібліографічний опис:
Горох Д. В., Максакова О. В., Клименко C. А., Литовченко С. В., Береснєв В. М., Глухов О. В. Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN. Надтверді матеріали. 2022. № 6. С. 44-52. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365 |  Superhard Materials / Issue (2022, 6)
Horokh D. V., Maksakova O. V., Klymenko C. A., Lytovchenko S. V., Beresniev V. M., Hlukhov O. V.
The influence of the bias potential and working gas pressure on the properties of the ion-plasma multilayer coating TiSiN/NbN
Cite:
Horokh, D. V., Maksakova, O. V., Klymenko, C. A., Lytovchenko, S. V., Beresniev, V. M., Hlukhov, O. V. (2022). The influence of the bias potential and working gas pressure on the properties of the ion-plasma multilayer coating TiSiN/NbN. Superhard Materials, 6, 44-52. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF