Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю / Борисов Ю. С., Волос О. В., Вігілянська Н. В., Задоя В. Г., Стрельчук В. В. (2022)
Ukrainian

English  Automatic Welding   /     Issue (2022, 9)

Borysov Yu. S., Volos O. V., Vihilianska N. V., Zadoia V. H., Strelchuk V. V.
Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings


Cite:
Borysov, Yu. S., Volos, O. V., Vihilianska, N. V., Zadoia, V. H., Strelchuk, V. V. (2022). Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings. Automatic Welding, 9, 16-20. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна