Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю / Борисов Ю. С., Волос О. В., Вігілянська Н. В., Задоя В. Г., Стрельчук В. В. (2022)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183
  Автоматичне зварювання  Б - 2020  /     Випуск (2022, № 9)

Борисов Ю. С., Волос О. В., Вігілянська Н. В., Задоя В. Г., Стрельчук В. В.
Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю

Бібліографічний опис:
Борисов Ю. С., Волос О. В., Вігілянська Н. В., Задоя В. Г., Стрельчук В. В. Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю. Автоматичне зварювання. 2022. № 9. С. 16-20. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183

English  Automatic Welding   /     Issue (2022, 9)

Borysov Yu. S., Volos O. V., Vihilianska N. V., Zadoia V. H., Strelchuk V. V.
Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings

Cite:
Borysov, Yu. S., Volos, O. V., Vihilianska, N. V., Zadoia, V. H., Strelchuk, V. V. (2022). Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings. Automatic Welding, 9, 16-20. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна