Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings / Borysov Yu. S., Volos O. V., Vihilianska N. V., Zadoya V. G., Strelchuk V. V. (2022)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001532645
  The Paton welding journal   /     Випуск (2022, № 9)

Borysov Yu. S., Volos O. V., Vihilianska N. V., Zadoya V. G., Strelchuk V. V.
Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings

Бібліографічний опис:
Borysov Yu. S., Volos O. V., Vihilianska N. V., Zadoya V. G., Strelchuk V. V. Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings. The Paton welding journal. 2022. № 9. С. 15-20. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001532645

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна