інтернет-адреса сторінки:
http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001649561
Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка Б - 2020 /
Випуск (2022, Вип. 57)
Крючин А. А., Петров В. В., Рубіш В. М., Трунов М. Л., Костюкевич С. О., Костюкевич К. В.
Технології створення поверхневих рельєфів на плівках халькогенідних напівпровідників
Бібліографічний опис:
Крючин А. А., Петров В. В., Рубіш В. М., Трунов М. Л., Костюкевич С. О., Костюкевич К. В. Технології створення поверхневих рельєфів на плівках халькогенідних напівпровідників. Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка. 2022. Вип. 57. С. 133-144. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001649561