Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP / Dudin, S. V. (2006)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855346
  Physical surface engineering   /     Issue (2006, Т. 4, № 3-4)

Дудин С. В.
Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда

Бібліографічний опис:
Дудин С. В.  Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда. Фізична інженерія поверхні. 2006. Т. 4, № 3-4. С. 169-173. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855346

English  Physical surface engineering   /     Issue (2006, 4 (3-4))

Dudin S. V.
Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP

Cite:
Dudin, S. V. (2006). Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP. Physical surface engineering, 4 (3-4), 169-173. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855346 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209